Oxidy kovů (SnO2, WO3, CeO2, ?) ve formě ?nanodrátů? o průměru jednotek až několika desítek nanometrů jsou perspektivními materiály pro plynové senzory. Zmenšením příčného rozměru senzorů lze dosáhnout nových selektivních vlastností, tj. citlivosti pro speciální plyny jako jsou např. CO a NOx. Tyto systémy budou připravovány metodami pokrývání uhlíkových nanotrubiček a elektronové litografie (EBL) v řádkovacím elektronovém mikroskopu (SEM). Oxidické vrstvy budou deponovány magnetronovým naprašováním z kompozitních terčů oxidů a kovů. Morfologie připravených nanostruktur bude kontrolována pomocí SEM a AFM. Chemické složení bude studováno pomocí fotoelektronové spektroskopie XPS a energiově-disperzní rtg. spektroskopie (EDS).
V rámci práce bude navržen a postaven testovací mikrosystém pro měření reaktivity a vodivosti nanostrukturních senzorů na čipu čtyřbodovou metodou. Digitálně řízený systém mixování měřících plynů umožní testovat senzory pro koncentrace < ppm>
matolin@mbox.troja.mff.cuni.cz | |
22191-2323 22191-2734 95155-2323 95155-2734 |
imatol@mbox.troja.mff.cuni.cz | |
22191-2241 22191-2252 95155-2241 95155-2252 |
Studium, přednášky, zajímavosti a informace z oblasti nanomateriálů a vodíkových technologií.
© 2021 Matematicko-fyzikální fakulta Univerzity Karlovy.
Všechna práva vyhrazena. | Cookies