Příprava jednodimenzionálních chemických senzorů oxidu kovu

Chemické senzory charakterizují tři základní vlastnosti, a to stabilita, selektivita a sensitivita. Pro dosažení vysoké citlivosti senzoru na malé množství plynu se upouští od „tradičních“ objemových senzorů a nahrazují je senzory v podobě tenkých vrstev nebo tyček, či drátků.
Předmětem této práce bude právě studium jednodimenzionálních struktur, ve formě nanotyček různých oxidu kovu (WOx, ZnOx, CeOx) prostřednictvím skenovací elektronové mikroskopie (SEM) a elektronově disperzní rentgenové spektroskopie (EDX). Cílem je přenesení jediné nanotyčky z předem připraveného vzorku na mikročip pomocí nanomanipulátoru integrovaného v duálním skenovacím elektronovém mikroskopu (FIB/SEM). Následným zafixováním nanostruktury depozicí platiny systémem vstřikování plynu (GIS) dojde k vytvoření dostatečně vodivého kontaktu mezi nanotyčkou a čipem. Výsledkem bude 1D chemický senzor, připravený pro následné studium jeho odporových vlastností v závislosti na interakci s daným plynem.

Zásady pro vypracování

1. Studium doporučené literatury
2. Seznámení se s principy skenovací elektronové mikroskopie (SEM) a komplementární spektroskopie (EDX).
3. Zvládnutí práce s duálním mikroskopem s integrovaným iontovým svazkem (FIB), systémem vstřikování plynu (GIS) a nanomanipulátorem.
4. Vytvoření kontaktu jediné nanotyčky na mikročipu.
5. Vyhodnocení výsledků a sepsání práce.

Seznam odborné literatury

1. Cao, G.: Nanostructures and Nanomaterials, Imperial College Press, University of Washington, USA, (2004), ISBN 1-86094-415-9.
2. Egerton, R.F.: Physical Principles of Electron Microscopy, Springer Science Business Media, New York, USA, (2007), ISBN-13: 978-0387-25800-0
3. Giannuzzi L. A., Stevie F. A.: Introduction to Focused Ion Beams, Springer, Boston, USA, (2005), ISBN: 0-387-23116-1.
4. Odborné články dle doporučení vedoucí práce