Pokročilá příprava tenkých vrstev magnetronovým naprašováním – automatizace naprašovacího procesu

Magnetronové naprašování je perspektivní metoda přípravy tenkých vrstev, kterou ve Skupině nanomateriálů využíváme k tvorbě katalytických materiálů pro vodíkové technologie. Současné manuální ovládání naprašovacích parametrů (napětí/proud) omezuje naši flexibilitu, zejména při přípravě multimetalických vrstev, kde je výhodné dynamicky řídit rychlosti naprašování jednotlivých prvků. Cílem projektu je pomoci s automatizací procesu naprašování a v případě úspěchu připravit touto metodou tenké vrstvy odlišných vlastností a zhodnotit možné limity tohoto přístupu.

Předběžný zájemce: Dávid Dzuba.