3D tomografie tenkovstvých katalyzátorů pomocí technik FIB/SEM

Fyzikální a chemické vlastnosti materiálů jsou významně ovlivněny jejich strukturou a chemickým složením. Skenovací elektronová mikroskopie (SEM) spolu s technikou fokusovaného svazku iontů je mocným nástrojem pro charakterizaci struktury materiálů. Fokusovaný svazek iontů (FIB), který pracuje na principu odprašování materiálu urychlenými těžkými ionty (např. Ga+), je ideálním mikroobráběcím nástrojem např. pro přípravu vzorků pro TEM, neboť dokáže opracovat materiály do podoby velmi tenké folie, která je pro elektrony s vysokou energií průhledná.

V rámci vypsané práce budou v řádkovacím elektronovém mikroskopu (SEM) LYRA v kombinaci s fokusovaným svazkem iontů (FIB) studovány možnosti profilování různými materiály.

Cílem práce bude třírozměrné zobrazování struktury tenkých vrstev.